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             超精密機械加工技術在微光學元件制造中的應用

導讀： 超精密機械加工技術是利用刀具改變材料形狀或破壞材料表層，以切削形式來達到所要求的形狀。如單晶金剛石車削與銑削、磨削、快速切削和機械拋光等。

　　1微光學概述

　　1.1定義與名稱

　　微光學是一門屬于多門前沿學科交叉領域的新興科學。微光學借助于微電子工業技術的最新研究成果，是國際上最前沿研究方向之一，并具有廣泛的應用前途。

　　微光學元件(MOC)，指面形精度可達亞微米級，表面粗糙度可達納米級的自由光學曲面及微結構光學元件。自由光學曲面包括有回轉軸的回轉非球面(如拋物面、漸開面等)，和沒有任何對稱軸的非回轉非球面。

　　微結構是指具有特定功能的微小表面拓撲形狀，如凹槽、微透鏡陣列等，如圖1所示的微金字塔結構表面。